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賽可世界樶高分辨率X-eye NF120概述

納米-focus X射線檢測(cè)設(shè)備

適應(yīng)于亞微米單位不良檢測(cè)要求的半導(dǎo)體封裝，晶片領(lǐng)域檢測(cè)(WLP)，配備400納米級(jí)的納米-focus 射線管的設(shè)備。

用精密的定位軸可將不良位置準(zhǔn)確的檢查出來(lái)。

配備3D CT模塊時(shí)可進(jìn)行單層分析，通過晶片方向盤的安裝，對(duì)晶片樣品進(jìn)行自動(dòng)解讀。

Wafer Bump Void

Wafer TSV Void

賽可世界樶高分辨率X-eye NF120特點(diǎn)

★ 為 Wafer Lebel Packaging檢測(cè)的非破壞分析設(shè)備
★ 提供Dual Type的CT，獲得最清影像
★ TSV, Micro Bump, Pattern